ПОЛИРУЮЩИЕ СУСПЕНЗИИ ДЛЯ ПЕРВОЙ И ВТОРОЙ СТАДИИ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ ПЛАСТИН МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

Предлагаются полирующие суспензии для первой и второй стадий химико-механической полировки кремниевых пластин различной ориентации, а также других применений. Обеспечивают высокую чистоту поверхности после полировки, малую величину возникающего статического электричества на полировальнике, высокую производительность, лёгкость использования, высокую стабильность и минимальное загрязнение ионами металлов.

Контакты

ГАЙШУН ВЛАДИМИР ЕВГЕНЬЕВИЧ, Заведующий ПНИЛ ПМ, кандидат физ.-мат. наук, доцент
тел.: +375(232) 57-64-36, факс: +375(232) 57-63-57, e-mail: vgaishun@gsu.by

Вернуться к разработкам