РАЗРАБОТКИ
Боросодержащая композиция для получения покрытий на поверхности монокристаллического кремния, используемых в качестве твердого источника диффузии бора

Боросодержащая композицияПредлагается золь для формирования золь-гель методом твердых источников диффузии бора на поверхности пластин монокристаллического кремния. Сущность золь-гель метода получения твердых источников диффузии бора состоит в том, что в результатереакции гидролиза кремнийорганического соединения синтезируется золь, в который добавляется органическое соединение бора. Затем, полученный золь наносится методом центрифугирования на поверхность пластины монокристаллического кремния и термообрабатывается на воздухе. После стравливания покрытия, подложка (пластина монокристаллического кремния) обладает удельным поверхностным сопротивлением) 20- 30 Ом.

ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МАТЕРИАЛА

Концентрация бора в плёнке, масс.  %

Температура обработки  °С

Удельное поверхностное сопротивление кремневой пластины после удаления диффузанта Ohm/

30

1200

20-30

40

30-40

  • Пригоден для нанесения на поверхность подложки методом центрифугирования.
  • Образовывается на поверхности подложки гомогенное прозрачное покрытие после термообработки при температуре 1200 °С в течение 40 минут на воздухе
  • Толщина покрытия в пределе 0,2 – 1 мкм
  • Хорошая адгезия к поверхности кремния
  • Удельное поверхностное сопротивление кремниевой пластины после стравливания диффузанта - 20-30 Ом/.

ПРЕДЛАГАЮТСЯ: изготовление опытных образцов, разработка технической и технологической документации, передача технологии и оказание технической помощи по внедрению.

Учреждение образования "Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины", ул. Советская 104, г. Гомель, 246019, Республика Беларусь. Тел.: 375+232+57-64-36, факс: 375+232+57-63-57, моб. +375+44-755-05-05 Заведующий ПНИЛ ПМ Гайшун Владимир Евгеньевич E-mail: vgaishun*gsu.by
E-mail: vgaishun@mail.ru

Назад Назад