РАЗРАБОТКИ
Функциональные и декоративные золь-гель пленки для микроэлектроники и оптики

Декоративные покрытияМедицинский инструмент. Температура обработки 400°СПредлагается модифицированный золь-гель метод для производства декоративных покрытий, легированных органическими красителями, оксидами Mn, Co, Fe, Ag, Cu, Ni, Ce, Eu и др.; защитные кремнийоксидные покрытия; покрытия для диффузии бора при формировании р-n перехода в пластинах монокристаллического кремния.

 

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

  • Защитные кремний-оксидные пленки и покрытия для планаризации поверхности.Капли воды на поверхности крышек газовых горелок рисунок
  • Пленки для диффузии бора при формировании р-n перехода в пластинах монокристаллического.
ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА
  • Золь наносится на подложку методом центрифугирования (окунания).
  • Однородное прозрачное покрытие формируется после термообработки при температуре 200-500 °С (для защитных и декоративных пленок) на поверхности подложки.
  • Толщина покрытия 0,2 -2 мкм.
  • Хорошая адгезия к поверхности кремния, диоксида кремния, алюминия, кремниевых подложек с алюминиевой разводкой, стекла, пластика.
  • Механическая устойчивость к температурным колебаниям.
  • Влаго- и коррозионная стойкость.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

  • Содержание Na, К, Li составляет .
  • Устойчиво в стандартном травителе для алюминия в течение 20 мин при температуре 40 °С.
  • Величина исходного заряда на границе раздела с кремнием составляет около , что является весьма небольшой и допустимой величиной для диэлектриков толщиной 2-4 мкм.
  • Коэффициент диэлектрической проницаемости -4.
Учреждение образования "Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины", ул. Советская 104, г. Гомель, 246019, Республика Беларусь. Тел.: 375+232+57-64-36, факс: 375+232+57-63-57, моб. +375+44-755-05-05 Заведующий ПНИЛ ПМ Гайшун Владимир Евгеньевич E-mail: vgaishun*gsu.by
E-mail: vgaishun@mail.ru

Назад Назад