РАЗРАБОТКИ
Низкотемпературное защитное покрытие для интегральных микросхем на основе алкил-замещённых силанов

Защитное покрытиеПредлагается пленкообразующий раствор для формирования золь-гель методомзащитных, гидрофобных, просветляющих покрытий на поверхности очковых линз и оптических элементах. Сущность золь-гель метода получения гидрофобных покрытий состоит в том, что в результате реакции гидролиза кремнийорганического соединения синтезируется золь, который затем наносится методом центрифугирования или на поверхность полупроводниковых пластин с алюминиевыми токоведущими дорожками и термообрабатывается при температуре 180-200 °С в течении 10 мин на воздух Получаемая защитная плёнка прозрачная в видимом диапазоне, гидрофобна, хорошо защищает алюминиевые разводки от внешнего воздействия окружающей среды, обладает высокой адгезией к поверхности пластин монокристаллического кремния с алюминиевой разводкой.

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

  • Защитные кремний-оксидные пленки и покрытия для планаризации поверхности. Капли воды на поверхности крышек газовых горелок рисунок
  • Пленки для диффузии бора при формировании р-n перехода в пластинах монокристаллического кремния.
ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

  • Золь наносится на подложку методом центрифугирования.
  • Однородное прозрачное покрытие формируется после термообработки при температуре 200-500°С (для защитных и декоративных пленок) и 1200°С (для пленок для диффузии бора) на поверхности подложки.
  • Толщина покрытия 0,2 -2 мкм.
  • Хорошая адгезия к поверхности кремния, диоксида кремния, алюминия, кремниевых подложек с алюминиевой разводкой, стекла, пластика.
  • Механическая устойчивость к температурным колебаниям.
  • Влаго- и коррозионная стойкость.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

  • Содержание Na, К, Li составляет .
  • Устойчиво в стандартном травителе для алюминия в течение 20 мин при температуре 40°С.
  • Величина исходного заряда на границе раздела с кремнием составляет около , что является весьма небольшой и допустимой величиной для диэлектриков толщиной 2-4 мкм.
  • Коэффициент диэлектрической проницаемости -4.
Учреждение образования "Гомельский государственный университет им. Франциска Скорины", ул. Советская 104, г. Гомель, 246019, Республика Беларусь. Тел.: 375+232+57-64-36, факс: 375+232+57-63-57, моб. +375+44-755-05-05 Заведующий ПНИЛ ПМ Гайшун Владимир Евгеньевич E-mail: vgaishun*gsu.by
E-mail: vgaishun@mail.ru

Назад Назад